سلاسل كاربيد السيليكون سلاسل سلاسل سليكون سليكون سليكون سلاسل سلاسل سلاسل سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون
تفاصيل المنتج:
اسم العلامة التجارية: | ZMSH |
رقم الموديل: | صينية رقائق SiC |
شروط الدفع والشحن:
الحد الأدنى لكمية: | 5 |
---|---|
وقت التسليم: | 2-4 أسابيع |
شروط الدفع: | T/T |
القدرة على العرض: | 5 |
معلومات تفصيلية |
|||
مكان المنشأ: | الصين ZMSH | التركيب الكيميائي: | الجرافيت المطلي بـ SiC |
---|---|---|---|
قوة العاطفة: | 470 ميجا باسكال | التوصيل الحراري:: | 300 W/mK |
الوظيفة: | الأمراض القلبية الوعائية-كربيد | الكثافة: | 3.21 غرام/سي سي |
التمدد الحراري: | 4 10-6/ك | رماد: | <5 جزء في المليون |
رمز Hs: | 6903100000 | التوصيل الحراري:: | 116 وات/م ك (100 كيلو كالوري/ساعة-درجة مئوية) |
تسليط الضوء: | ICP حفر سلاسل الكربيد السيليكون,سلاسل الكربيد السيليكوني MOCVD Susceptor,الصناديق المقاومة للكربيد السيليكوني,MOCVD Susceptor Silicon Carbide Trays,Wear Resistant Silicon Carbide Trays |
منتوج وصف
سلاسل كاربيد السيليكون سلاسل سلاسل سليكون سليكون سليكون سلاسل سلاسل سلاسل سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون سليكون
الوصف
يتم تصنيع صواني الجرافيت المقوى بـ SIC من مصفوفات الجرافيت عالية النقاء ، وتتلقى طبقة SiC عن طريق CVD (ترسب البخار الكيميائي) ذات نقاء مرتفع بشكل استثنائي وكثافة نظرية.هذا الطلاء من سي سي دي (CVD SiC) صلب جداً، مما يسمح لها أن تكون مطلية إلى نهاية شبيهة بالمرآة، وتعرض نقاء عالية للغاية ومقاومة للارتداء ملحوظة. هذه الصحنات المطلية تتفوق في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة العالية،مما يجعلها مثالية لصناعة أشباه الموصلات وغيرها من الإعدادات النظيفة للغايةتستخدم في المقام الأول كقوالب لتشكيل الطبقة البصرية على رقائق أشباه الموصلات ، فهي تقدم العديد من المزايا ، مثل الأسطح ذات النقاء العالي للغاية ومقاومة الارتداء الفائقة.مع CVD تضمن طبقات SiC مع الحد الأدنى من المسام وطبيعة الكربيد السيليكونية القابلة للتلميع، هذه المنتجات تجد تطبيق واسع في صناعات أشباه الموصلات، بما في ذلك الصناديق MOCVD، RTP، وغرف الحفر الأكسيد،بسبب مقاومة نتريد السيليكون الممتازة للصدمات الحرارية و مقاومة البلازما.
عرض المنتجات
خصائص المنتج
- نظافة عالية جداً
- مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية
- المقاومة الفيزيائية الممتازة للصدمات
- القدرة على العمل على الأشكال المعقدة
- استقرار كيميائي ممتاز
- يمكن استخدامه في الغلاف الجوي المأكسدة
البند | الوحدة | المعلمات التقنية | |
---|---|---|---|
السكك الحديدية | ... | SSiC | SiSiC |
اللون | ... | أسود | أسود |
الكثافة | غرام/سم3 | 3.12 | 3.06 |
امتصاص الماء | % | 0 | 0 |
HRA | ... | ≥ 92 | ≥90 |
نموذج المرونة | متوسط | 400 | 350 |
قوة الانحناء (@R.T.) | ام بي اي | 359 | 300 |
قوة الضغط (@R.T.) | ام بي اي | ≥2200 | 2000 |
التوصيل الحراري (@R.T.) | W/Mk | 110 | 100 |
معامل التوسع الحراري (20-1000°C) |
10-6/°C | 4.0 | 4.0 |
درجة حرارة العمل | °C | 1500 | 1300 |
تطبيق المنتج
حفرة الـ ICP:تعتبر صناديق كاربيد السيليكون مكونات حاسمة في أنظمة الحفر ICP (البلازما المزدوجة بشكل استقرائي) ، حيث تعمل كمنصات قوية لعقد ومعالجة رقائق أشباه الموصلات.الطبيعة المقاومة للارتداء للصناديق تضمن الموثوقية الطويلة والاتساق أثناء عملية الحفر، مما يسهم في نقل النمط الدقيق وتعديل السطح على رقائق.
المشتبه به (MOCVD):في أنظمة MOCVD ، تعمل صناديق كاربيد السيليكون كمستقبلات ، مما يوفر دعمًا مستقرًا لإيداع الأفلام الرقيقة على الركائز شبه الموصلة.قدرة الصناديق على الحفاظ على نقاء عالية ومقاومة درجات حرارة مرتفعة تجعلها مثالية لتسهيل نمو طبقات القاع مع جودة متفوقة وتكافؤ.
مقاومة للاستعمال:مجهزة بطلاء SiC ، تظهر هذه الصناديق مقاومة ملابس استثنائية ، مما يضمن حياة خدمة طويلة حتى في ظروف تشغيل صعبة.المقاومة للكساح والتحلل الكيميائي يزيد من الإنتاجية ويقلل من وقت التوقف، مما يجعلهم لا غنى عنهم في بيئات تصنيع أشباه الموصلات عالية الصلبة.
يستخدم طبق الجرافيت المغلف بـ SIC كقاعدة لتثبيت وتسخين رقائق أشباه الموصلات أثناء المعالجة الحرارية. يمكن امتصاص الطاقة وتسخين الشريحة من خلال الاستقبال أو التوصيل أو الإشعاع ،ومقاومته للصدمات الحرارية، والقيادة الحرارية والنقاء ضروريان للمعالجة الحرارية السريعة (RTP).وأداء ونوعية القاعدة لها تأثير حاسم على جودة الطبقة البصرية للوافل.
أسئلة وأجوبة
ما هو حساسية الجرافيت؟
أجهزة الوقود والغطاءات من مواد الجرافيتحماية الصنبور من التأثيرات الخارجية، مثل الإشعاع الحراري المباشر من العناصر التدفئة- تسخن نفسها وتصدر حرارتها بشكل متساوٍ إلى قطع العمل.
ما هو طلاء سي سي؟
ما هو طلاء كربيد السيليكون؟طبقة كثيفة مقاومة للكسور السيليكوني (SiC)يحتوي على خصائص عالية لمقاومة التآكل والحرارة بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز. نطبق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسب البخار الكيميائي (CVD).التطبيقات.
ما هو غرافيت كربيد السيليكون؟
SiC30 - مادة مركبة كربيد السيليكون والجرافيت
SiC30 هومادة مركبة استثنائية تتكون من كربيد السيليكون والجرافيت، الذي يجمع خصائصه حل المشاكل التي لا يمكن حلها مع مواد أخرى.المنتج
توصية المنتج
1SIC كربيد السيليكون 4H - نوع N لجهاز MOS 2 بوصة Dia50.6mm ((لمزيد من الرجاء النقر على الصورة)
إشعار
الرجاء الاتصال بنا للحصول على تفاصيل محددة حول خيارات المنتجات المخصصة.
الكلمات الرئيسية:
- سلاسل الكربيد السيليكوني
- طبقة SiC
- CVD (ترسب البخار الكيميائي)
- نقاء مرتفع
- مقاومة للارتداء
- صناعة أشباه الموصلات
- طبقة القاع
- MOCVD
- مقاومة الصدمات الحرارية
- خيارات قابلة للتخصيص