معلومات تفصيلية |
|||
polytype: | 4H | surface orientation: | <11-20>4±0.5 |
---|---|---|---|
dopant: | n-type Nitrogen | resistivity: | 0.015~0.025ohm ·cm |
diameter: | 200±0.2 mm | thickness: | 500±25 um |
الحافة: | شطب | surface finish: | Si-face CMP |
منتوج وصف
8 بوصة 4H-N نوع SiC سمك الوافر 500 ± 25um n المضغوطة دمية الدرجة الأولى للبحوث
8 بوصات 4H-N نوع سيك وافير خلاصة
تقدم هذه الدراسة وصف رقاقة 8 بوصات من كربيد السيليكون (SiC) من نوع 4H-N المخصصة لتطبيقات أشباه الموصلات.تم تصنيعها باستخدام أحدث التقنيات ومغطاة بالشوائب من النوع nتم استخدام تقنيات التوصيف بما في ذلك انكسار الأشعة السينية (XRD) ، ومجهر الإلكترونات المسحية (SEM) ، وقياسات تأثير هال لتقييم جودة الكريستال ، وتركيب السطح ،والخصائص الكهربائية للوافيرأكد تحليل XRD بنية النمط المتعدد 4H من رقاقة SiC ، في حين كشفت التصوير SEM عن تشكيل سطح موحد وخالي من العيوب.أظهرت قياسات تأثير هول مستوى متسق ويمكن التحكم به من نوع n على طول سطح الوافرتشير النتائج إلى أن رقاقة SiC من نوع 4H-N البالغة 8 بوصات تظهر خصائص واعدة للاستخدام في أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء.خاصة في التطبيقات التي تتطلب طاقة عالية وتشغيل درجة حرارة عاليةهناك حاجة إلى مزيد من دراسات تحسين وتكامل الأجهزة لاستغلال إمكانات هذه المنصة المادية بالكامل.
خصائص 8 بوصة 4H-N نوع سيفير SiC
-
هيكل بلورية: يظهر هيكل بلورية مستطيل مع نوع متعدد 4H ، مما يوفر خصائص إلكترونية مواتية لتطبيقات أشباه الموصلات.
-
قطر الوافر: 8 بوصات، مما يوفر مساحة سطحية كبيرة لتصنيع الجهاز والقدرة على التوسع.
-
سمك الوافر: عادةً 500 ± 25 ميكرو متراً، يوفر الاستقرار الميكانيكي والتوافق مع عمليات تصنيع أشباه الموصلات.
-
المنشطات: المنشطات من النوع N، حيث يتم إدخال ذرات النيتروجين عمداً كشوائب لخلق فائض من الإلكترونات الحرة في الشبكة البلورية.
-
خصائص كهربائية:
- حركة الكترونات العالية، مما يسمح بنقل الشحنة بكفاءة.
- المقاومة الكهربائية المنخفضة، مما يسهل توصيل الكهرباء.
- ملف تعاطي مسيطرة ومتساوية عبر سطح الوافر.
-
نقاء المواد: مادة SiC عالية النقاء ، مع مستويات منخفضة من الشوائب والعيوب ، مما يضمن أداء جهاز موثوق به وطول العمر.
-
مورفولوجيا السطح: مورفولوجيا السطح الناعمة وخالية من العيوب ، مناسبة لنمو الشوكة وعمليات تصنيع الجهاز.
-
الخصائص الحرارية: التوصيل الحراري العالي والاستقرار في درجات الحرارة المرتفعة ، مما يجعله مناسبًا لتطبيقات الطاقة العالية ودرجات الحرارة العالية.
-
الخصائص البصرية: طاقة واسعة النطاق والشفافية في الطيف المرئي والأشعة تحت الحمراء، مما يتيح دمج الأجهزة البصرية الإلكترونية.
-
الخصائص الميكانيكية:
- قوة ميكانيكية عالية وقسوة، مما يوفر المتانة والمرونة أثناء التعامل مع المعالجة.
- معدل التوسع الحراري المنخفض ، مما يقلل من خطر التشقق الناجم عن الإجهاد الحراري أثناء دورة درجة الحرارة.
الرقم البند الوحدة الإنتاج البحوث غبي 1 نوع متعدد 4 ساعة 4 ساعة 4 ساعة 2 التوجه السطحي ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 3 المضاد النيتروجين من النوع n النيتروجين من النوع n النيتروجين من النوع n 4 المقاومة أوم · سم 0.015 ~ 0025 0.01 ~ 0.03 5 قطرها ملم 200 ± 0.2 200 ± 0.2 200 ± 0.2 6 السماكة μm 500±25 500±25 500±25 7 توجيه الشق ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5 8 عمق الشفرة ملم 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5 9 القيمة القصوى μm ≤5 ((10mm × 10mm) ≤5 ((10mm × 10mm) ≤10 ((10mm × 10mm) 10 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15 11 اركبي μm 25 ~ 25 45~45 65~65 12 حركة الدوران μm ≤30 ≤50 ≤70
8 بوصة 4H-N نوع SiC وافر الصورة
تطبيق 8 بوصة 4H-N نوع سيفير SiC
إلكترونيات الطاقة: يتم استخدام رقائق SiC على نطاق واسع في تصنيع أجهزة الطاقة مثل ثنائيات Schottky ، MOSFETs (المعادن-أكسيد-أجزاء من الموصلات الترانزستور المجال تأثير) ،و IGBTs (الترانزستورات الثنائية القطبية معزولة البوابة)تستفيد هذه الأجهزة من فولتاج الانهيار العالي لـ SiC ، والمقاومة المنخفضة في الحالة ، وأداء درجة الحرارة العالية ، مما يجعلها مناسبة للتطبيقات في المركبات الكهربائية ،نظم الطاقة المتجددة، وأنظمة توزيع الطاقة.
أجهزة الترددات الراديوية وميكروويف: يتم استخدام رقائق SiC في تطوير أجهزة RF عالية التردد (التردد الراديوي) والأجهزة الميكروويفية بسبب تحركها الكهربائي العالي وقابلية التوصيل الحراري.التطبيقات تشمل مكبرات الطاقة العالية، مفاتيح الترددات الرادية، وأنظمة الرادار، حيث تمكن مزايا أداء SiC من معالجة الطاقة بكفاءة وعملية عالية التردد.
أجهزة الألكترونيات: تستخدم رقائق سي سي في تصنيع الأجهزة الإلكترونية الضوئية مثل أجهزة الكشف الضوئي للأشعة فوق البنفسجية (UV) ، والديودات المنتجة للضوء (LEDs) ، والديودات الليزر.الفجوة العريضة لـ SiC والشفافية البصرية في نطاق الأشعة فوق البنفسجية تجعلها مناسبة للتطبيقات في الاستشعار بالأشعة فوق البنفسجية، تعقيم الأشعة فوق البنفسجية، والضوء العالي أشعة فوق البنفسجية LEDs.
الالكترونيات عالية الحرارة: يتم تفضيل رقائق SiC للأنظمة الإلكترونية التي تعمل في بيئات قاسية أو في درجات حرارة مرتفعة. وتشمل التطبيقات الإلكترونية في مجال الطيران والفضاء، ومعدات الحفر تحت الحفر،وأنظمة تحكم محركات السيارات، حيث الاستقرار الحراري وموثوقية SiC تسمح بالعمل في ظروف شديدة.
تكنولوجيا المستشعرات: تستخدم رقائق سيك في تطوير أجهزة استشعار عالية الأداء لتطبيقات مثل استشعار درجة الحرارة ، استشعار الضغط ، والاستشعار الغاز.أجهزة الاستشعار القائمة على SiC تقدم مزايا مثل الحساسية العالية، أوقات الاستجابة السريعة، والتوافق مع البيئات القاسية، مما يجعلها مناسبة للتطبيقات الصناعية والسيارات والفضاء.