ما هي TTV، قوس، و Warp من رقاقة السيليكون؟
May 7, 2024
إن معايير سطح رقاقة السيليكون، القوس، الالتواء، و TTV، هي عوامل حاسمة يجب مراعاتها في تصنيع الرقائق.هذه المعايير الثلاثة معا تعكس تسطح ووحدة سمك من رقاقة السيليكون، مما يؤثر بشكل مباشر على العديد من الخطوات الرئيسية في عملية تصنيع الشريحة.
ما هو TTV (تغير السماكة الإجمالية) ؟
TTV (تباين السماكة الإجمالية) هو الفرق بين الحد الأقصى والحد الأدنى للسماكة السيليكونية.هذه المعيار بمثابة مؤشر هام لتوحيد سمك عبر رقاقةفي عمليات أشباه الموصلات ، يجب أن يكون سمك رقاقة السيليكون متجانسًا للغاية على طول سطحها بأكمله. عادةً ما يتم إجراء القياسات في خمسة مواقع على الرقاقة ،ويتم حساب الفرق الأقصىفي نهاية المطاف، هذه القيمة بمثابة أساس لتحديد جودة رقاقة السيليكون.TTV من رقاقة السيليكون 4 بوصة هو عموما أقل من 2 ميكرومتر، بينما بالنسبة لوحة السيليكون 6 بوصات، هو عادة أقل من 3 ميكرومترات.